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凈化單元包括風(fēng)機(jī)、過濾器及均流層等；，具體測(cè)試方法：在潔凈工作臺(tái)操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計(jì)數(shù)器或光度計(jì)在操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢，巡檢速度在mm/s以下。